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MEMS加速度计作业原理介绍

MEMS加速度计工作原理介绍-由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成;当加速度达到一定值后,中电容板会移动,与上、下电容板的距离就会变化,上、下电容因此变化。

 加速度计原理

1.1 加速度计由MEMS传感器与信号处理芯片组成。

1.2 MEMS加速度计作业原理

由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成;当加速度到达必定值后,中电容板会移动,与上、下电容板的间隔就会改变,上、下电容因而改变。电容改变跟加速度成比(如下面公式),经过对输出电压数字处理后,输出数字化信号。

如图:

公式:(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1+Cs2) ) * Vm   ;输出电压为电容电压改变部分;vm(输入电压)

(2) 由容的界说可得出电容的巨细与位移之间的联系:

电容板

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