直接将ACS装置至4200-SCS的嵌入式PC中能让功用强壮 的ACS集成测验体系兼有两者长处。小尺度但功用强壮的 4200-SCS丈量硬件结合了ACS软件的全主动化特性,能在极小的封装中完结令人形象深入的测验功用和主动化。运用事例十分广而且包含:
• 技术开发:当技术开发工程师需求进行各种进程切割时, 用以确认进程的操作窘境并从每片晶圆和多片晶圆的测 试结构中获取参数数据。
• 参数功用测验:当需求在多片晶圆上的多个器材上进行 无人干涉的参数测验但高吞吐量相对于测验本钱和易用 性而言是非必须时。
• 定制建模东西:当建模东西需求很多种器材的参数丈量 成果,然后将成果移植至建模软件,进行剖析并树立器 件软件模型时。 ACS能彻底拜访和操控4200-SCS上的最新脉冲和PIV软 /硬件,包含吉时利开发(和获专利权)的软件,例如4200 -PIV-A包。这能让体系履行全量程直流、CV和脉冲源和测 量。此外,为扩展测验计划功用并满意测验需求,此体系能够轻松地增配由ACS软件操控的CV外表、开关矩阵或其 它外部硬件。
精细实验室设备和全主动功用下降测验本钱 在本钱较低的台式测验仪(但具有业界抢先的测验和丈量才能)中参加重要的主动化功用便能显着下降测验本钱。ACS体系十分适于 能发生很多数据的使用,但不是对吞吐量灵敏使用,例如大容量终究测验。经过直观的设置和操作简化操作人员的使命,而且最小化 测验进程的人工干涉还能明显下降测验本钱。最小装备如图1所示。
图1. 4200-SCS运转ACS软件和主动探测器便足以履行多种直流和脉冲参数 主动化测验
定论
面市时刻延伸和测验本钱压力增大意味着测验工程师必须用更 少的投入做更多的事。使用吉时利久经验证的仪器和丈量,ACS集 成测验体系填补了根据交互式实验室东西与高吞吐量出产测验东西 之间的空白。 在这种情况下,让ACS运转在4200-SCS半导体特性剖析体系中是 将实验室级参数丈量提升至更高档的主动化并下降测验本钱的一种抱负办法。运转高质量主动测验的小尺度集成测验仪器能帮测验工 程师在测验进程中以最短设置时刻和最少人工干涉完结很多的测验 和数据——选用十分经济有用的封装。强壮、灵敏的剖析、演示和 陈述东西简化了测验后续作业。