从简略的精度约30000ppm的RC振荡器，到精度优于0.001ppb的原子钟，有许多满意不同使用要求的时钟选项。多年以来，体声波（BAW）晶体振荡器可用以满意大多数要求，它供给的精度在10ppm规模内。精度低一些的挑选，如SAW振荡器、陶瓷振荡器以及IC振荡器，它们各自具有其满意特定需求的优势。
长时间以来，石英基器材被作为大多数其他守时器材用来比较的规范。石英作为频率挑选与守时器材的安稳、可控的高质量资料的前史得到了广泛认可，而且频率温度呼应、老化率以及颤动与相位噪声特性也在业界被翔实记载。
图1 相位噪声图
与根据MEMS的振荡器相关的最新介绍常常伴有一些结论，以为该技能可供给更低的本钱、更短的规划与出产周期、杰出的冲击与振荡功能以及更为超卓的信号质量，从而将终究替代石英。除了这些结论外，已取得的可以有助于了解MEMS振荡器特性的研讨很少。本研讨力求供给MEMS振荡器与传统根据石英谐振器的振荡器的直接比照。多年以来，体声波晶体振荡器以其10&TImes;10-6精度规模满意了绝大多数需求。
研讨办法
这儿给出的成果根据典型频率操控的业界丈量技能的使用，并代表了在2008年进行此研讨时取得的商业化技能。许多电特性被评价，包含频率温度特性、相位噪声/颤动、短期安稳度、发动时刻、电流与长时间安稳度（老化率）。
限于篇幅，本文仅给出相位噪声/颤动与短期安稳度相关的数据。登录www.pletronics.com/ple/pages/documentaTIon/，可取得完好研讨的PDF副本。
上述产品均为CMOS电平输出，作业在3.0或3.3V，输出频率为25～50MHz。测验的BAW石英晶体振荡器，25MHz时为基谐波形式，50MHz时为三阶谐波形式。这儿给出的成果为典型器材的测验值或该类型的多个器材的平均值。
