高频直流电镀电源因为其输出波形的可控性,不只使电镀速度大大加速,并且使电镀层的质量大大提高,一起又使电源设备的体积大大削减,节电效果显著。
1 课题的提出
曾经高频电镀电源所用的快康复整流二极管都是肖特基二极管结构。这种快康复整流二极管充分运用肖特基二极管大都载流子导电,因而正、反向康复时刻都短的优势,完结高频高效整流。
功率二极管的正向康复时刻理解为:一个没有导通的功率二极管在正向电流忽然强行通过它时(叫做强制注册),改变到彻底注册状况时所需的时刻。在功率二极管彻底康复到注册状况前,正向康复期间的正向压降要比彻底注册状况时的压降高得多,这可能会发生电路电压尖峰。
功率二极管的反向康复时刻理解为:一个正导游通的功率二极管在通过它的电压忽然反向时(叫做逼迫关断),康复到阻断状况时所需的时刻。
功率二极管在反向康复期间将发生大的反向电流和大的功率损耗,这是研发与运用功率二极管所不期望有的。
具有长反向康复时刻的功率二极管类似于具有大寄生电容的功率二极管,具有长正向康复时刻的功率二极管类似于具有大寄生电感的功率二极管。
本课题选用一般的PiN 结构制成的快康复整流二极管完结高频整流及电镀运用。在确保正向、反向康复时刻都到达根本要求的前提下,使快康复整流二极管既在反向康复时刻内不发生大的反向电流和大的功率损耗,又在正向康复时刻内不发生过大的电路电压尖峰(换言之,便是将寄生电容、电感做到最小)。从而发挥大电流特性,特别是浪涌电流高的优势,完结强电流高频整流及运用。
2 肖特基二极管结构的优缺陷
金属和轻掺杂半导体之间的触摸是整流触摸,又称为肖特基(Schottky)势垒触摸。运用这样的整流触摸做成的器材,称之为肖特基二极管。
肖特基二极管中电荷的运送是靠大都载流子来完结的。因而,与少子注入、过剩载流子的抽取与复合等相关联的现象,并不出现在注册和关断过程中。所以在高频状况下运用肖特基二极管具有优势。
2.1 肖特基二极管的长处
1)反向康复时刻和正向康复时刻都短;
2)在低电流密度(JF<10 A/cm2)下,有比P+ -n-N+结构的整流二极管更低的通态电压。
2.2 肖特基二极管的缺陷
1)在有限面积的触摸处,击穿电压一般会小于100 V;
3 根本技能计划
本课题选用的技能计划是在电焊机专用大电流密度整流二极管的科研成果[4]的基础上,如单晶的选取、分散办法和技能要求、多层金属化的欧姆触摸、台面喷砂造型和聚酰亚胺钝化维护、管壳规划等大都是直接借用过来的,并且是通过改善的计划研发的,所以使整个研发作业走了捷径。
命子p 有一个近似抱负的散布;再用12 Mev 电子辐照,下降基区少子寿数到在硅片的双面蒸镀钛-镍-金、经台面喷砂造型,之后经去砂清洗腐蚀聚酰亚胺钝化维护、中心测验、装入陶瓷环充氮气冷压焊封装成型,再经全面测验电热参数、动态参数合格,最终制成高频电镀直流电源专用功率整流快康复二极管。