蓝光Photonic Crystal LED技能获得大打破
在1987年,国籍相异且分家不同地址的两位学者,Eli Yablonovitch与Sajeev John简直同一时间在理论上发现,电磁波在周期性介电质中的传达状况具有频带结构,运用两种以上不同折射率(或介电常数)资料做周期性改动来到达光子能带的物质。所以光子晶体(Photonic Crystal)被发现已将近20年后的今日,在各范畴的运用有着恰当令人激赏的体现,一直是备受研制者所关怀的一项技能。
为逃避日亚化学的蓝光LED加荧光粉制技能专利,各业者纷繁投入其它能到达散宣布白光的LED技能,现在最被等待的技能是运用UV LED来到达白光的意图,可是,UV LED依旧有着光外漏及低亮度两个不易战胜的困难。使得除了持续尽力来处理相关的问题外,不得不再去寻求其它的资料或技能来到达散宣布白光的LED技能。
现在运用二次元光子晶体来到达完结白光LED的技能,已连续呈现打破性的开展,使得未来Photonic Crystal LED已成为众所瞩意图焦点与脱节日亚化学专利的期望寄予。
■光子晶体特性与结构
光子晶体跟着波长不同,会呈现于周期性的结构,可以别离开展出一次元、二次元及三次元的光子晶体。而在这些结构傍边,最知名的应该是归于三次元的光子晶体结构,可是,三次元的光子晶体在制造上及产品化,就今日的技能而言是十分困难的。原因是现在首要研讨的范畴仍是保留在二次元的光子晶体,所以,今日在LED范畴各业者相竞开发的光子晶体LED,也是二次元的光子晶体。
一般的资料结构是归于固定结构,所以资料自身会具有的必定的折射率。图一A是阐明波数(Wave Number)与频率关于一般资料折射率的影响,横轴是物质的波数(Wave Number)、纵轴是频率、斜线就代表折射率。从(图一)中可以发现折射率是十分等份额的生长,也便是代表说不论什么样的波数、什么样的波长,它的折射率都是必定的。
那么光子晶体是什么样的结构,再从别的一个视点来阐明。光子晶体的特性便是周期结构,也因此会发生多重反射。图一B表明晰光子晶体所构成的波数向量数和光的频率份额,可以发现频率的曲线不像图一A是那么单纯,曲线已经会变得十分复杂,这个曲线会跟着光的多方向性,便是异向性而呈现改动,而跟着它的偏旋光性,就可以运用来规划出不同的产品。光子晶体它有一个很知名的特性,信任咱们都知道,便是它有一个光能隙。
在光能隙这个区域里边,光线是不存在的。这边的曲线也跟图一A是的斜率含义是相同的,是折射率的相反。只需在这一点,斜率等于零。所以在这一点以外,光的速度就不会发生零这个现象。所以也可以说,光子晶体也可以操控光的速度。就简略来说,运用光子晶体的意图浓缩成一句话,便是要运用周期结构,以人工的方法来操控这个光学特性。
▲图一:光子晶体特性与一般资料比较。
■光子晶体与有固态发光组件差异
光子晶体有3个光学特性,可以运用人工的方法来加以操控而到达不同的意图。
第一个特性是,假如运用光能隙的话,就可以遮盖光通过。运用这个特性可以把光锁在一个恰当狭小的区域里边。现在产业界中,就有运用这个特性把光集合在一个区域里边,制造成一个集成电路。
别的一个特性是,便是光子晶体有异向性,光子晶体的光会朝向许多方向散射,原因是光子晶体可以跟着光的偏光视点,呈现透光与不透光(某个视点它可以透过,可是有些视点是没办法透过)。
第三个特性便是,光子晶体的曲线十分复杂、改动多端。由于光子晶体的曲线改动十分快,十分不规则,所以只需波长稍有改动,那就可以看到进入光子晶体的光,它的视点就会违背得十分大。
在长处方面,光子晶体的面积要比传统集成电路缩小了千分之一,所以,相对的,电路的积集度就比曩昔添加了1,000倍。而另一个长处是折旋光性倍数可以到达以往1,000倍。别的,也可以运用偏旋光性,改动光的性质,可以将以往正方形的偏光浓缩成以往体积的千分之一。
简略来说,光子晶体它有什么样的优点与特性?
一、积集度高,二、体积小,三、本钱低。
■运用光子晶体制造出LED
除此之外,光子晶体还有其它的特性。运用它的特性,可以制造出光子晶体LED。(图二)是运用光子晶体制造出的二极管。
▲图二:运用光子晶体制造出的LED与LD。
大致上可以分为2种,一种是LED,一种是雷射二极管(Laser Diode)。LD雷射二极管部分咱们可以分为光子晶体 DFB雷射二极管(Photonic crystal DFB LD)与Photonic crystal defect LD。光子晶体DFB雷射二极管是咱们比较了解的结构,其雷射值可以操控在十分低的区域来做发射,这姿态的结构,是有必要存在光能隙的区域,也由于是如此,所以这样结构要完成产品化是比较困难。相对的运用光子晶体的结构制造成LED是比较简略。
有关光子晶体常常被混杂的部分是,以为是运用DFB雷射,所以就会有人以为是不是运用特定的周期或波长来运用?其实答案是不对的。理由是DFB雷射跟光子晶体LD,它的入射(Incident)和衍射(Diffracted)的光是受约束的。可是相对光子晶体的入射光视点和衍射光视点是不受约束的。所以并不是运用特定的周期或波长来加强功率,这个特性关于LED来说是十分重要的(图三)。
▲图三:光子晶体与LD入射光和衍射光视点差异。
■光子晶体蓝色LED
(图四)阐明晰运用蓝色LED来制造的白光LED,蓝色LED会宣布蓝色的光,可是各个蓝色的光会依据YAG荧光粉部分会转换成黄光,运用蓝色和黄色的光,可以让LED发生出白光,白光LED被运用在白光照明灯跟液晶背光的光源,这种白光LED被称为固体白色照明(图五)。这种光有3个特征:一、体积小,二、省动力,三、寿命长,可是有一个很大的问题需求战胜:比起荧光灯,这样的白光LED发光功率比较差,为了处理这个问题,便可以运用光子晶体来处理这样的问题。
▲图四:一般白光LED(蓝光LED+荧光粉)发光原理。
▲图五:固态照明功率演进。
为了战胜,蓝光LED发光功率比较低的问题,可以将光子晶体放在蓝光LED里,运用光子晶体来进步发光功率,这样生产出的蓝光光子晶体LED的特征是周期长,要让发光功率进步,有几个很重要的技能。
传统的LED制造十分简略,可是存在的问题点便是发光功率比较差,由于是传统的蓝光LED外表的全反射,从活性层出来的光线,会被外表全反射掉。这样的光就没有办法发射到LED外面。
■日本松下电器运用二次元集积外表处理功率欠安
针对这个问题,CREE在制造过程中做了一些改进的动作,在(图六)的Deformed Chip中可看到活性层周围是一个斜面,运用这样斜面的结构,可以让发光功率进步,同样是针对进步功率的问题,日本松下电器规划出了二次元的集积外表,运用这姿态的结构,可以让外表的发光功率进步,所以日本松下电器是运用半导体的Planar技能,这是一个很精细的技能,用来操控这个结构。
▲图六:处理光子晶体功率欠安方法。
(图七)是导入光子晶体的LED的不同规划形式,除了日本松下电器所开展的Planar技能结构外,现在在技能上别的还有2种规划。
▲图七:功率欠安处理方法于显微镜下结构。
PenetraTIon是运用二次元的活性层让光穿过,这样的结构可以使发光功率高达80%,可是也有一个问题需求战胜,那便是内部量子功率会下降。由于为了要让光透过活性层,就会由于到达透过活性层这个意图而下降内部量子功率。
Resonant Cavity 是在光子晶体LED上面加载共振器,这个规划称为共振器LED,在LED的周边,咱们装备上光子晶体,运用这个规划,可以把他LED功率进步60%,而前面说到日本松下电器运用Planar技能所开宣布来的Surface GraTIng的规划方法尽管不错,可是在电流的注入上会有一些问题。
与Surface GraTIng相较下,尽管Resonant Cavity在电流的注入上会比较简略,不过,Resonant Cavity 自身也会有问题存在,那便是共振器LED在制造上比较困难,制造困难就代表说本钱就会进步,关于LED咱们都期望可以以低本钱量产,这就造成了开展瓶颈,PenetraTIon与Resonant Cavity这2个规划,只是在LED上面加上一个二次元的规划,这样的规划是可以用上本来既有的LED上。
■光子晶体蓝色LED运作原理
(图八)左面是现有的LED结构,可以看到他的全反射,现有的LED临界度是比较小的,首要是由于外表将光悉数反射,相对的,光子晶体蓝色LED所规划出来的LED,由于衍射的联系,可以修正光的视点,修正后的光可以比临界角还小,并可进入临界角投射到外面,改进曩昔LED的光会悉数反射的问题。
▲图八:光子晶体与一般LED反射临界角。
从LED的活性层发射出来的光,咱们可以360度放射出去,但以往的LED只能受限于临界角,只能在临界角规模内发光,在临界角内的光才干发射出去,咱们知道临界角规模内的面积只占整个规模的4%,所以相对光子晶体的光就比较广,能有更多的面积将光反射出去,便是运用这个原理将发光功率进步。
■光子晶体的规划关键
在光子晶体的规划上有一些关键,有一个指针是周期这一部分,周期和衍射的间隔有关,假如周期越小,衍射的间隔就越大,纵使通过修正后仍是没有办法将光发射到外面去。相对的假如周期变大,衍射的间隔越小,由于这样的联系,光就可以移到外面去了,所以在规划上需求找到一个最适合的周期。
还有一个关键便是高度,高度跟衍射的功率有恰当严密的相关联性,实践上并不是一切的光都会遭到衍射的影响,遭到衍射影响的光都会跟衍射率发生相关联,所以这两个重要目标便是在开发光子晶体LED时,需求核算出最恰当数值的G值,所以在规划上就有必要通过恰当精的密核算来获得G值(图九)。
▲图九:G值将影响衍射率与相光功率。
而在规划中,怎么去核算出LED外表需求多少光,可以运用FDTD核算方法来做一些运算(图十),这个核算方法在光子晶体上是遍及被运用的一个方法,详细的核算方法,图十A中浅蓝色内核算方法,而右面所示是核算出来的数值。
▲图十:G值核算成果与发光组件相互联系。
非光子晶体的LED,是归于外表比较平整的一种LED。图十B左下方是LED的内部,图十B右上方是LED的外部,可以发现到,非光子晶体的LED发生光后,跟空气触摸的光源那部分,会由于外表全反射掉。而光子晶体LED的规划,从图十C中的成果发现,可以让光不受反射影响,将光反射到外面。
(图十一)是日本松下电器针对光子晶体LED规划出来的功率成果,X轴是周期,Y轴是高度,Z轴是实践的发光功率,发光功率1.0是指外表是平面的LED宣布的功率数值。从这个图形可以看出,周期越长,功率会添加,但到了一个高度后会下降。
▲图十一:运用周期与高度核算出最佳发光点。
而高度的部分也是成曲线散布,到某一个高度时,功率是最高的,可以看见发光功率最高的周期是在1.5微米的当地(红线部分),而发光功率最高是0.25微米(红线部分),由此可见,在这个区域是一个十分长的周期,十分短的高度,这就显现说光子晶体的制造十分简略,只需找出最适合的周期1.5微米,比发光波长还要长的一个周期,可是常说现有的LED至少要战胜这样的条件,可是从这儿的规划可以看出,即便这个周期很长,仍是可以到达高功率,所以关于这种光子晶体规划,称之为长周期光子晶体。
图十一是将长周期光子晶体作进一步剖析,可以看出来假如规划和活性层外表越短的话,发光的功率就会越高,最适合的周期会越长,所以长周期的光子晶体,除了发光功率外,整个散乱也会影响。
所以,日本松下电器所规划的光子晶体LED周期是比较长的,此外,还有别的的一个特征,便是日本松下电器在光子晶体的外表镀上一整面的薄膜,这个薄膜便是通明电极,透过这个薄膜规划,光可以从整个面都可以发光出去。
■日本松下电器光子晶体LED制程
(图十二)是日本松下电器对光子晶体LED上通明电极的影响作的解说,蓝色线是没有通明电极的状况,赤色是显现有通明电极的状况,可以看到,不管有没有涂上通明电极,对发光功率并没有很大影响。依据这个成果,日本松下电器就很定心的在光子晶体上覆上一层通明电极。
▲图十二:通明电极对发光功率影响。
日本松下电器是运用蓝宝石作为基板,再通过MOCVD、EB和RIE ETCHING等等制程,制造出来二次元的光子晶体LED。依据日本松下电器的说法,现在暂时是运用EB的方法,但今后在正式量产或产品化时,就会用另一个本钱更低的做法,别的还会做干式(Dry)Etching,再构成一个通明电极和电极板。
(图十三)显现的是日本松下电器的光子晶体蓝光LED在电子显微镜下的结构,左面是在电子显微镜下看到的外表状况,在右上方的N电极和左下方的P电极的中心构成光子晶体。右边是光子晶体蓝光LED在电子显微镜下的断面图,看起来像布丁状况的结构,散布在二次元的空间上,可以看到这个通明电极它很均匀的散布在光子晶体上。
▲图十三:电子显微镜下光子晶体蓝光LED的结构。
(图十四)是光子晶体在运作状况下的显微镜相片,可以看到光子晶体是全面在发光的。从这个成果可以断言说,日本松下电器所掩盖这一层通明电极,的确有到达所等待的作用。
▲图十四:电子显微镜下光子晶体的运作状况。
(图十五)所显现的是日本松下电器所做的光子晶体的输出和电流的特性点评。为了比较,除了光子晶体外,日本松下电器一起也量测了别的一个一般的LED,从成果可以看出,光子晶体LED与一般LED的光输出运作和电流作用是不同的。蓝色是一般的LED,赤色是光子晶体LED,光子晶体LED的功率比一般的LED高出50%。
▲图十五:光子晶体的发光功率和电流的特性点评。
就理论来说,在核算后的成果应该是高出3倍的,可是在这次试验后,得出的成果却只有高出50%。剖析原因有可能是在光子晶体构成的制造过程中,所运用的数值并不是最恰当的数值。所以日本松下电器信任,只需改动这个流程,发光功率应该就会像核算的数值相同到达3倍。此外,别的一个可能是在制程中呈现一小瑕疵,那便是在芯片中有一个小裂缝,而这个裂缝的呈现,也会影响到整个LED的发光效能。
■透过通明电极可到达大面积的发光
日本松下电器是第一个将光子晶体运用导入蓝色LED,并且很成功。发光功率到达1.5倍。信任业界透过这样不断的研讨,显现出固体白光照明的产品化应该是指日可下的。这个技能肯定可以运用并量产。
别的一点,光子晶体的共同规划使得长周期结构可以完成。由于这样的长周期结构让GaN的光子晶体的运用更简略完成。别的,通过实践的制造后,日本松下电器也证明了一件事,在光子晶体的外表都覆上了一整面的通明电极,这样一个共同规划,使得大面积的发光可以详细完成。