在半导体工业中,用户关于进步测验功率和产能的需求达到了史无前例的水平。快速改变的技能对测验的复杂性和速度提出了更高需求,其意图是为了添加产品可靠性,缩短产品上市时刻。吉时利最新的C-V测验体系满意了这一需求,该体系是同类产品中第一个在紧凑的台式规划中严密集成了C-V/I-V/脉冲测验功用的体系,不管用户是否具有相关丈量经历,都能运用该体系进行专业丈量。一起,该体系的性价比很高,运用该体系可以为半导体工厂、试验室节约大笔开支。
4200-CVU是吉时利最新C-V丈量设备,是为功用强壮的4200-SCS半导体特征剖析体系专门定制。4200-CVU能以丈量模块的方式刺进4200-SCS的恣意可用仪器插槽中,能在10KHz到10MHz的频率范围内快速、方便地丈量飞法(fF)和纳法(nF)级电容。在4200-CVU的立异规划中选用了当时最先进的高性能电路,有8项专利正在请求中。该设备具有直观的点击式装备界面,线缆衔接简略,内置的元件模型可以运用户直接取得有用的C-V丈量成果。
4200-CVU顺便了最完好的测验库,在与吉时利 4200-LS-LC-12结合运用时可以
完成更高丈量功率, 4200-LS-LC-12为带有电缆和适配器的专用开关矩阵卡,经过单针勘探就能完成高度集成的C-V/I-V测验 。4200-PROBER-KIT是可选模块,运用该模块能很容易地将4200-SCS与各种广泛运用的探头相连,最终用户能像I-V测验相同轻松装备和履行功用全面的C-V测验。
广泛的运用支撑
吉时利一向在C-V丈量范畴处于领先地位,经过4200这一半导体丈量仪器就能满意非常广泛的丈量运用需求,其间包含了品种丰厚的勘探器、器材类型、制作工艺以及包含脉冲I-V在内的丈量办法学。4200-CVU及其可选模块可以处理其他特征剖析体系无法处理的问题,例如无法供给完好的C-V/I-V/脉冲,或许用户接口和软件库支撑缺乏。此外,该体系灵敏而强壮的测验履行引擎可以非常方便地在同一测验序列中整合C-V、I-V和脉冲测验。因而,4200-SCS凭仗其单一、严密集成的特征剖析处理方案代替多种电路测验东西。即便如此,吉时利公司4200-SCS仍支撑运用各种第三方测验设备进行C-V/I-V/脉冲测验的测验办法。
强壮的软件
使测验更易于装备和剖析的关键因素之一是软件用户图形界面(Graphical User InteRFace,GUI)。依据多年客户交互和反应的研制经历,新式4200-CVU硬件和软件模块仍将坚持该易于运用的特色,它们是4200-SCS交互式测验环境和履行引擎的天然延伸。吉时利为4200-CVU的硬件供给了很多程序典范、测验库、以及垂手而得的内置参数提取实例。八个软件库为用户供给最广泛的C-V测验和剖析功用,包含一切规范运用,其间包含C-V、C-t、C-f的丈量与剖析,以及结电容、管脚间电容和互连电容的丈量。这些测验包含各种线性的和自界说的C-V 扫描,包含4096个及以下数据点组成的恣意DC波形。
4200-CVU为用户顺便供给整套C-V测验典范和参数提取公式,以便在进行半导体技能研制 、工艺研制和可靠性技能研究时,依据需要加高效地运用这些测验东西。
不同于其他特征剖析体系,吉时利C-V/I-V剖析提取东西为用户供给一种界说明晰的开放式环境,用户能很方便地修正和定制自己的测验例程。一起供给的项目典范是根据规范教材模型和吉时利工程师的深沉工程经历开发而成,大大缩短程序开发时刻。
经过简略学习操作,功用强壮的4200-SCS就可以为用户供给最佳的运用体会。怎么进步器材特征剖析和建模的产能和功率,是一向困扰着半导体试验室管理者的问题,假如运用4200-SCS,那么这些问题将方便的解决。例如:能大大缩短培训时刻,在多用户试验环境中愈加明显。
高度通用的测验环境
除了可以在一个功用灵敏、高度集成的测验环境中完成I-V、C-V和脉冲测验之外,4200-SCS还供给多种备选的功用,首要包含8个中、高功率的DC源丈量单元(SMU)、双通道脉冲、波形发生器和一个完好的数字示波器。同4200-CVU相同,一切这些设备都可刺进到4200-SCS的设备插槽中,而且经过功用强壮的吉时利交互式测验环境(KTEI,7.0版)进行操控。点击式用户界面可以协助用户轻松完成一系列的测验设置、测验序列操控和数据剖析操作。KTEI还能操控外部设备,包含大部分常用的勘探器、高温卡盘(hot chuck)和测验夹具,以及吉时利高集成度的、当时业界衔接功用最灵敏的开关矩阵。
4200-CVU还供给了多种先进的确诊东西,协助用户保证C-V丈量成果的正确性。在用户不能确认测验成果是否精确时,只需点击屏幕上“Confidence Check”按钮,或许运用实时面板屏蔽部分测验设置进行验证就可以。
充分运用现有出资
许多仪器厂商出产的系列产品之间不能相互兼容,一个新产品的面世则往往意味着之前产品的完结,无法完成对用户的现有出资的充分运用。吉时利对4200-SCS用户供给继续软硬件晋级服务,这意味着4200-CVU模块及其一切相关软件和可选硬件都可以兼容前期的4200-SCS体系。由此,用户彻底无须由于设备或资料技能的更新而频频购买新的参数化剖析仪。经过低成本晋级,4200-SCS体系可以满意技能进步带来的测验需求, 满意当时竞赛剧烈的丈量需求,最大极限地下降对外部硬件和测验程序的出资。