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压阻式压力传感器优缺点

本站为您提供的压阻式压力传感器优缺点,在飞机喷气发动机中心压力的测量中,使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺寸缩小的风洞模型试验中,压阻式传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。

  压阻式压力传感器选用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于张贴式应变计需经过弹性活络元件直接感触外力,而是直接经过硅膜片感触被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般规划成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(N型)定域分散4条P杂质电阻条,并接满足桥,其间两条坐落压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。硅柱形活络元件也是在硅柱面某一晶面的必定方向上分散制造电阻条 ,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构满足桥。

  压阻式压力传感器长处:

  1. 频率响应高,f0可达1.5M;

  2. 体积小、耗电少;

  3. 活络度高、精度好,可丈量到0.1%的精确度;

  4. 无运动部件(活络元件与转化元件一体)。

  压阻式压力传感器缺陷:

  1. 温度特性差;

  2. 工艺杂乱。

 压阻式压力传感器优缺陷

  压力传感器广泛地应用于航天、航空、帆海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气候、地质、地震丈量等各个范畴。在航天和航空工业中压力是一个要害参数,对静态和动态压力,部分压力和整个压力场的丈量都要求很高的精度。压阻式传感器是用于这方面的较抱负的传感器。例如,用于丈量直升飞机机翼的气流压力散布,测验发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的颤动等。

  在飞机喷气发动机中心压力的丈量中,运用专门规划的硅压力传感器,其作业温度达500℃以上。在波音客机的大气数据丈量体系中选用了精度高达0.05%的配套硅压力传感器。在尺度缩小的风洞模型试验中,压阻式传感器能密布安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。

  单个传感器直径仅2.36毫米,固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22%。在生物医学方面,压阻式传感器也是抱负的检测工具。已制成分散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能丈量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。是一种用于丈量脑压的传感器的结构图。

  压阻式传感器还有效地应用于爆破压力和冲击波的丈量、真空丈量、监测和操控轿车发动机的功能以及比如丈量枪炮膛内压力、发射冲击波等武器方面的丈量。此外,在油井压力丈量、随钻测向和测位地下密封电缆毛病点的检测以及流量和液位丈量等方面都广泛应用压阻式压力传感器。

  压阻式压力传感器活络度高,它的活络系数比金属应变片高50~100倍;频率响应快,不仅能检测靜态压力,还能检测动态压力(最高可达10kHz);易于小型化和微型化,最小的传感器可小至1.8mm,在生物学上能够丈量血管内压和颅内压;测压规模很宽,能够低至10Pa的微压(用于血压丈量)、高至60MPa的高压;作业牢靠,丈量准确度可达±().2%-±0.02%,高准确度的产品可用于大型飞机大气数据的压力检测或作为规范压力计。现在现已广泛应用于石油、化工、电气等工业范畴,是一种比较抱负、发展迅速、正在逐步成为商场干流的压力传感器。

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