电容传感器的原理
电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件,将被测物理量或机械量转化成为电容量改变的一种转化设备,实践上便是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器广泛用于位移、视点、振荡、速度、压力、成分剖析、介质特性等方面的丈量。最常用的是平行板型电容器或圆筒型电容器。
电容传感器也常常被人们称为电容式物位计,电容式物位计的电容检测元件是依据圆筒形电容器原理进行作业的,电容器由两个绝缘的同轴圆柱极板内电极和外电极组成,在两筒之间充以介电常数为ε的电解质时,两圆筒间的电容量为:
式中L为两筒彼此重合部分的长度;D为外筒电极的直径;d为内筒电极的直径;e为中心介质的电介常数。在实践丈量中D、d、e是根本不变的,故测得C即可知道液位的凹凸,这也是电容式传感器具有运用方便,结构简略和活络度高,价格便宜等特色的原因之一。
电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件,因为被丈量改变将导致电容器电容量改变,经过丈量电路,可把电容量的改变转化为电信号输出。测知电信号的巨细,可判别被丈量的巨细。这便是电容式传感器的根本作业原理。
电容式传感器的优缺陷
1、电容式传感器的长处
(1)温度安稳性好
传感器的电容值一般与电极资料无关,仅取决于电极的几许尺度,且空气等介质损耗很小,因而只要从强度、温度系数等机械特性考虑,合理挑选资料和几许尺度即可,其他要素(因自身发热极小)影响甚微。而电阻式传感器有电阻,供电后发生热量;电感式传感器存在铜损、涡流损耗等,引起自身发热发生零漂。
(2)结构简略,习惯性强
电容式传感器结构简略,易于制作。能在凹凸温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下作业,习惯能力强,特别能够接受很大的温度改变,在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常作业,能测超高压和低压差,也能对带磁工件进行丈量。此外传感器能够做得体积很小,以便完结某些特别要求的丈量。
(3)静电引力小
电容传感器两极板间存在着静电场,因而极板上效果着静电引力或静电力矩。静电引力的巨细与极板间的作业电压、介电常数、极间间隔有关。一般说来,这种静电引力是很小的,因而只要对推动力很小的弹性活络元件,才须考虑因静电引力形成的丈量误差。
(4)动态呼应好
电容式传感器因为极板间的静电引力很小,(约几个10-5N),需求的效果能量极小,又因为它的可动部分能够做得很小很薄,即质量很轻,因而其固有频率很高,动态呼应时间短,能在几MHz的频率下作业,特别合适动态丈量。又因为其介质损耗小能够用较高频率供电,因而体系作业频率高。它可用于丈量高速改变的参数,如丈量振荡、瞬时压力等。
(5)能够完结非触摸丈量、具有均匀效应
当被测件不能允许选用触摸丈量的情况下,电容传感器能够完结丈量使命。当选用非触摸丈量时,电容式传感器具有均匀效应,能够减小工件外表粗糙度等对丈量的影响。
电容式传感器除上述长处之外,还因带电极板间的静电引力极小,因而所需输入能量极小,所以特别适合低能量输入的丈量,例如丈量极低的压力、力和很小的加速度、位移等,能够做得很活络,分辨力十分高,能感触0.001µm乃至更小的位移。
2、电容式传感器的缺陷
(1)输出阻抗高,负载能力差
电容式传感器的容量受其电极几许尺度等约束,一般为几十到几百pF,使传感器的输出阻抗很高,特别当选用音频范围内的交流电源时,输出阻抗高达106~108Ω。因而传感器负载能力差,易受外界搅扰影响而发生不安稳现象,严峻时乃至无法作业,有必要采纳屏蔽办法,然后给规划和运用带来不方便。容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高(几十MΩ以上),不然绝缘部分将作为旁路电阻而影响传感器的功能(如活络度下降),为此还要特别留意周围环境如温湿度、清洁度等对绝缘性能的影响。高频供电尽管可下降传感器输出阻抗,但扩大、传输远比低频时杂乱,且寄生电容影响加大,难以确保作业安稳。
(2)寄生电容影响大
传感器的初始电容量很小,而其引线电缆电容(l~2m导线可达800pF)、丈量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大,①下降了传感器的活络度;②这些电容(如电缆电容)常常是随机改变的,将使传感器作业不安稳,影响丈量精度,其改变量乃至超越被丈量引起的电容改变量,致使传感器无法作业。因而对电缆挑选、装置、接法有要求。
(3)输出特性非线性
变极距型电容传感器的输出特性对错线性的,虽可选用差动结构来改进,但不或许彻底消除。其他类型的电容传感器只要疏忽了电场的边缘效应时,输出特性才呈线性。不然边缘效应所发生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加,使输出特性非线性。
跟着资料、工艺、电子技术,特别是集成电路的高速开展,使电容式传感器的长处得到发扬而缺陷不断得到战胜。电容传感器正逐渐成为一种高活络度、高精度,在动态、低压及一些特别丈量方面大有开展前途的传感器。
电容传感器运用
电容传感器具有结构简略、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态呼应特性好等长处,广泛用于压力、位移、加速度、厚度、振荡、液位等丈量中。但在运用中要留意以下几个方面临丈量成果的影响:①减小环境温度、湿度改变(或许引起某些介质的介电常数或极板的几许尺度、相对方位发生改变);②减小边缘效应;③削减寄生电容;④运用屏蔽电极并接地(对活络电极的电场起维护效果,与外电场阻隔);⑤留意漏电阻、鼓励频率和极板支架资料的绝缘性。