MEMS陀螺仪也称电子式陀螺仪,便是一块芯片。 Iphone 4上的陀螺仪便是这种,首要效果是在GPS没有信号时,经过陀螺仪的效果依然可以持续准确导航。
MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪,绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于彼此正交的振荡和滚动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通讯和电源于一体的完好微型机电体系。
mems陀螺仪的特色:
MEMS陀螺仪是使用 coriolis 定理,将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号,其中心部件经过掺杂技能、光刻技能、腐蚀技能、LIGA技能、封装技能等批量生产的,它首要特色是
1. 体积小、分量轻,其边长都小于 1mm,器材中心的分量仅为1.2mg。
2. 成本低
3. 可靠性好,作业寿数超越 10 万小时,能接受1000g 的冲击。
4. 丈量规模大
MEMS是否替代光纤陀螺仪技能
光纤陀螺是继激光陀螺巨大的行进,归于两光陀螺,使用Sagnac效应,用光程差反算角速度,比较激光陀螺,体积小,成本低,精度可达千分之一,并且没有活动部件,可靠性高,获得了广泛的使用。现在国内首要是北航和浙大两大派系,从业者约30多家,技能现已敞开,大多数精度也就十分之一的姿态,产业链现已向中西部搬运,民工都可以干。但比较MEMS仍是十分的贵,并且近千米的光纤绕成一坨,温度系数、可靠性、抗冲击、长储都有问题,并且MEMS现在的精度现已是10和开环光纤适当,并且现已向1进发,所以在一些低端和短时使用十分检测光纤从业者的粗大神经,并且MEMS小体积分量,低成本,芯片批量化,高可靠性等优势十分显着,但MEMS的精度10年内进入0.1有点困难,因而,在0.1到千分之一都可所以光纤的全国,短时刻替代不了的。
光纤陀螺仪的作业原理
光纤陀螺仪的完成首要根据塞格尼克理论:当光束在一个环形的通道中行进时,假如环形通道自身具有一个滚动速度,那么光线沿着通道滚动的方向行进所需求的时刻要比沿着这个通道滚动相反的方向行进所需求的时刻要多。也便是说当光学环路滚动时,在不同的行进方向上,光学环路的光程相对于环路在停止时的光程都会发生改变。使用光程的改变,检测出两条光路的相位差或干与条纹的改变,就可以测出光路旋转角速度,这便是光纤陀螺仪的作业原理。