笔直度、平行度、直线度丈量简介

为了测定机器几许精度，运用激光光束制作成超精细设备替代直规。光学直角规可精确地将激光光束曲折90°\u65292X而象限仪可用来测定出激光光束的中心违背量。直线度丈量是丈量沿着与图一所示移动途径彼此笔直的运动。抱负的移动途径为直线，任安在直线水平方向的偏移量称为水平直线度，笔直方向则称为笔直直线度。

将具有十字线的标靶固定在组织上，调整十字线对准雷射光束中心。假定激光光束从A点沿着抱负途径移动到到B 点。十字线的中心应该会沿着实践移动途径运动。藉由丈量激光光束移动途径时十字线违背中心的偏移量，可测定出直线度。关于更精确的丈量，激光光束的中心违背量可用将光侦测器切割成四等分的象限仪来丈量，如图二所示：

当激光光束投射在象限仪中心时，四个侦测器1、2、3及4 的输出应该会共同。但是当象限仪倾向右方时，侦测用具1 及3 比侦测器2 及4 具有较高的输出。相同地，象限仪倾向上方时，侦测用具1 及2 比侦测器3 及4 具有较高的输出。举例来说，激光光束直径为5mm时，最小可侦测的违背量. 为0.00001 in 或0.25 µm。而较长周期时间的取样均匀、缩小光束直径或添加（S/N）讯噪比则可获得较高的分辨率。

当激光光束通过精细光学直角规曲折成90°\u65292X可用来丈量笔直度与平行度。光学直角规为一个五角锥，可将进入的激光光束曲折成90°\u65292X如图四所示，因两反射面间为固定视点，输出光束总是与入射光束坚持90° ±\u23481X许量的视点，与入射视点无关。典型的光学直角规的精确度为2-5 arcsec，较高的精确度可小于1 arcsec。固定与已知的差错已在软中考量与消除。运用入射光束方向当作旋转轴，旋转光学直角规将会发生一个平面笔直入射的激光光束，当运用光学直角规进行平行度丈量时需考量削减任何偏斜景象。

HeNe 激光可发生激烈赤色光束，其在真空中为具有极高精确度的直线。在大气中，激光光束的直线度会遭到温度梯度或气流影响而改动。激光光束直线度可藉由操控激光光束间的温度梯度或气流来测定其精确度。室内条件下，激光光束安稳度为每12 inches 为0.0001in 或每300mm 为.5µm。

笔直度丈量暗示

平行度丈量示例

直线度或笔直度丈量典范

敞开LDDM 软件，进入设定窗口，输入丈量型式，直线度（Straightness）、笔直度（Squareness）运用一个光学直角规，输入待测机器相关消息（machineinformation），
决议那一部分要固定，是象限仪（quad detector ） 或激光头（laser head）. 旋转象限仪图画使其箭头指向正确的机器轴向。旋转时请在象限仪直角（quad detector square）图画上按下鼠标左键， 修正丈量设定（measurement setup），输入机器起点和结尾坐标及丈量点数，按下观看/修正（View/Edit）来查看设定的增量，即可开端丈量。

在直线度或笔直度丈量中获得数据

调整激光光束使其平行欲丈量的移动方向，象限仪坐落激光光束中心如图六与图七所示。按下开端（Start），移动到沿着榜首轴的每一点再按取样（Take）键，计数将会在完结一切数据点丈量后均匀再显现，此刻会呈现贮存档案消息，按下Yes及输入文件名称即可贮存数据（副文件名称主动设为.SQR）

数据剖析（ Data Analysis ） ：

按下剖析（Analysis）键来查看丈量成果及针对笔直度敞开档案。可选择为数据或图形画面。
笔直度图形（Squareness Plot）：可显现您机器正向X、Y 及Z 间的夹角视点。
直线度图形（Straightness plot）：显现笔直与水平直线度图形。

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