图 晶闸管旁路灭弧原理图
较大功率（100kW以上）的离子渗氮设备一般选用晶闸管旁路灭弧，其电路如图所示。电路的阴阳极间并联了一个晶闸管V，在辉光放电过渡到弧光放电前，电源对电容器C1经电阻R1充电到电源电压，当弧光放电时，阴阳极间电压忽然下降，电容C1放电，脉冲变压器TM原、副边中发生脉冲电流，使V触发导通，阴阳极间短路，因而弧光平息。此刻LC构成振动回路，当流过V的放电电流为零时（电压已反向），V即主动关断。电源经限流电阻R、滤波电感L0从头对%&&&&&%器C1充电至辉光放电所需的电压，而从头起辉。因为V的导通时刻只需十几个μs，故弧光放电只经很短时刻即被旁路，弧光放电强度大为削弱。
这种电路也有其缺陷：在大功率情况下，很小的限流电阻会发生很大的功率损耗。晶闸管旁路灭弧是以阴阳极间的电压忽然下降作为触发信号的，起辉时，如起辉电压较高，起辉后电压会忽然下降，形成晶闸管的误触发，为此，有必要加一点着阴极，以下降起辉电压，点着阴极自阴极引出，距阳极2mm～3mm。
