一、TFT简介
TFT是薄膜晶体管（Thin Film Transistor）英文首字母的简写办法。它具有晶体管的“有源性（开关、扩大）”和“薄膜”的“薄”的两层特性，与平板显现屏（例如LCD、OLED等）组合，构成当今的平板电视（TFT－LCD、TFT－OLED），TFT是其间要害中心部件之一。
一般TFT有源资料是硅薄膜，依据硅薄膜结构不同，晶体管分为非晶硅TFT（a-Si TFT）、多晶硅（p-Si TFT）和单晶硅MOSFET（c-Si MOSFET）。此外选用有机资料制备的TFT，称为有机TFT（或许OTFT）。
薄膜晶体管自上世纪60年代创造开端， 现已得到了十分广泛的推行和运用， 展开速度之快超乎幻想。从非晶硅TFT 到多晶硅TFT， 从高温多晶硅TFT 到低温多晶硅TFT， 技能越来越老练， 运用的方针也从仅仅驱动LCD 展开到既能够驱动LCD 也能够驱动OLED、甚至电子纸。跟着半导体工艺的水平的不断提高，像素尺度不断减小， 显现屏的分辨率也越来越高。
TFT寻址的液晶显现器以其大容量、高清晰度和全五颜六色的视频显现成为液晶甚至整个平板显现的主导技能，相关的高技能工业也成为现在的首要出资方向。TFT制作技能在以其寻址的液晶显现器中处于要害位置，它的研制向来是研讨中的要点。
二、显现器的驱动办法
无论是液晶显现仍是OLED显现都分为自动显现和被迫显现两大类。关于 LCD显现，分红 无源（被迫）驱动显现LCD，如：Color-STN-LCD显现器，STN-LCD，TN-LCD等；有源（自动）驱动显现LCD，如：TFT－LCD。关于OLED显现，分红 无源（被迫）驱动显现OLED（PMOLED）和 有源（自动）驱动显现OLED（AMOLED）。
无源（被迫）驱动显现OLED或LCD一般只能一起显现200行以下，因而要显现更多的行数以到达高清晰度，就要选用有源（自动）驱动显现办法，即TFT-LCD、AMOLED。有源（自动）驱动显现办法包括TFT制作技能。
三、TFT薄膜技能
1．非晶硅薄膜。非晶硅薄膜晶体管技能是70年代提出的。通过各国科学家近30年的不懈努力， 现在第七代以上液晶显现器（LCD）出产线已悉数完成自动化，工业出产技能适当老练。现已展开成为当今国际液晶显现器的主流产品，未来展开的方针是更大的屏幕尺度和更低的出产成本。非晶硅TFT技能，其长处是制备工艺老练，相对简略，成品率高，适合于大面积出产。其缺陷是TFT只要N型器材，迁移率只要 0.5-1.0cm2/Vs。因而，选用非晶硅TFT工艺，很难制备高性能、全集成的超薄型结构紧凑的显现器模块。非晶硅TFT技能不能用于高分辨率的有源驱动OLED显现屏。
2．多晶硅薄膜（poly-Si）。多晶硅薄膜工艺首要分为两大类：
（1）高温工艺，指整个加工过程中温度高于900℃。高温工艺只能以贵重的石英为衬底，TFT性能好，高温工艺只适用于中小尺度的显现屏或投影屏系列。
（2）低温工艺，整个加工过程中温度低于600℃。选用低温工艺可在廉价玻璃衬底上制作较大的显现屏。低温多晶硅（LTPS）TFT因为其低功耗、简便、薄型、供给大电流和系统集成性而被广泛地运用于有源（自动）驱动显现TFT－LCD和AMOLED中。多晶硅TFT的工艺要害是怎么低成本地、大面积制备优秀的多晶硅薄膜。现在，制备多晶硅资料的办法有快速退火（RTA）、准分子激光晶化（ELC）、固相晶化（SPC）、接连横向晶化（SLS）和金属诱导低温多晶硅 （M%&&&&&%）技能等。
低温多晶硅LTPS TFT技能可彻底解决非晶硅TFT技能不能解决的问题。特别是2000 年今后，因为a-Si TFT产能过剩，日、韩、台厂商活跃投入LTPS TFT，才使LTPS TFT在未来数年内有了更多的展开机会。特别是最近中小尺度面板商场的快速增长，多晶硅TFT展开开端步入黄金时期。LTPS TFT很早就被视为下一代LCD必备的技能。
3．有机薄膜TFT。有机TFT的呈现，将对现有非晶硅TFT构成有力的竞赛是显而易见的。它将是新一代柔性显现的中心技能，运用柔性显现技能制作的显现屏能够像画布相同曲折，并或许像液晶显现器相同成为未来显现器国际的重要一员。
因为运用有机资料，具有可曲折显现的特色，因而不光耐冲击，并且重量轻、体积小。不只改变了显现器的外观，运用环境也因而大为扩展且多样化。选用类似于报纸印刷工艺的卷带工艺将显现器印刷在塑料薄膜片上，可极大地下降出产成本。
国际上展开OTFT研讨已近20年，但怎么规划与加工高性能的器材、怎么下降加工成本、怎么组成兼具高迁移率与环境稳定性的有机半导体资料等，一直是研讨和技能瓶颈，现在尚没有获得实质性打破。就整体而言，国际上在柔性电子范畴的研讨尚处在起步阶段，具有极大的技能打破和专利申请空间。
四、TFT显现器的运用（首要是下面的四大类）
1. 便携式显现：可视频移动电话、可视频PDA、可视频电子书等；
2. 车载显现：GPS、安全驾驭显现、多媒体显现等；
3. 计算机显现：笔记本电脑、监视器等；
4．家电和办公室显现：电视、互联网络终端、电子报纸等。
总归，TFT技能在平板显现工业中处于中心位置，具有资金密布、人才密布、技能密布的特色，面板产量高，工业集聚效应显着。
