MEMS陀螺仪即硅微机电陀螺仪，绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于彼此正交的振荡和滚动引起的交变科里奥利力。MEMS (Micro-Electro-MechaNIcal Systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通讯和电源于一体的完好微型机电体系。
MEMS陀螺仪的重要参数包含：分辨率(Resolution)、零角速度输出(零位输出)、灵敏度(Sensitivity)和丈量规模。这些参数是评判MEMS陀螺仪功能好坏的重要标志，一同也决议陀螺仪的使用环境。
分辨率是指陀螺仪能检测的最小角速度，该参数与零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决议。这三个参数首要说明晰该陀螺仪的内部功能和抗干扰才能。对使用者而言，灵敏度更具有实践的挑选含义。丈量规模是指陀螺仪可以丈量的最大角速度。不同的使用场合对陀螺仪的各种功能指标有不同的要求。
MEMS陀螺仪首要用于丈量轿车的旋转速度(转弯或许打滚)，它与低加速度计一同构成自动控制体系。所谓自动控制体系便是一旦发现轿车的状况反常，体系在事故没有产生时及时纠正这个反常状况或许正确应对个反常状况以阻挠事故的产生。比如在转弯时，体系经过陀螺仪丈量角速度就知道方向盘打得过多仍是不行，自动在内侧或许外侧车轮上加上恰当的刹车以避免轿车脱离车道。现在这种体系首要装置于高端轿车上。
现在在轿车MEMS商场，压力计和加速度计仍是占较大比例，可是跟着对轿车安全功能要求越来越高，尤其是在北美和欧洲稳定性主控体系的装置率节节攀升，陀螺仪的商场增长率显着比前两类要快得多。
