什么是LED光阻剂?
光阻,亦称为光阻剂,是一个用在许多工业制程上的光敏资料。像是光刻技能,能够在资料外表刻上一个图画的被覆层。
光阻有两种,正向光阻(posiTIve photoresist)和负向光阻(negaTIve photoresist)
正向光阻是光阻的一种,其照到光的部分会溶于光阻显影液,而没有照到光的部份不会溶于光阻显影液。
负向光阻是光阻的一种,其照到光的部分不会溶于光阻显影液,而没有照到光的部份会溶于光阻显影液。
正型光阻剂及负型光阻剂主要是应用在LED芯片制造的金属电极蒸镀Lift-off制程中,因为LED电极所运用的金属资料不易经由蚀刻的方法制造电路图形,所以使用拔起(Lift-off)微影制程,得到突起的(Overhang)光阻图形,使金属在蒸镀过程中不会连续性满布在光阻剂上,再用去光阻剂的方法将未遭金属布盖的光阻部份拔起,完结金属电极的图画。
半导体制程常用的正型光阻剂,在光学曝光方法下,光阻剂上层承受能量较基层光阻高,使得正型光阻剂成像大部份图形为上窄下宽,无法经一次曝光方法即得到Overhang的图形,而负型光阻剂的成像刚好与正型光阻剂图画相反,所以负型光阻剂是lift-off制程的最佳挑选。