体系架构
最简略想到的多站点测验仪是迷你测 试仪体系。每台迷你测验仪包含了在一个站点上运转一系列测验所需的悉数资源。 图3示出了两台迷你测验仪组成的体系。每台迷你测验仪含有几个模仿源-丈量单 元(SMU)、一个测验定序仪/操控器，和 一个开关矩阵选件。独立操控器能让每台 迷你测验仪的操作独立于其它迷你测验仪 和体系操控器。这样，体系操控器不必选通测验的运转，而是发动测验序列并收拾 发生的测验数据。 吉时利的ACS集成测验体系经过吉时 利2600系列数字源表支撑迷你测验仪架 构。经过运用TSP-LinkTM 可扩展虚拟背板专利技术和嵌入式脚本处理，能够将几组 2600系列设备组成迷你测验仪。 迷你测验仪的分布式实质能极大进步 吞吐量。运用真实的并行测验，彻底测验 图2中的4个FET测验站的耗时比次序测验仪完结4个FET第一项测验的用时短(如图 4所示)。
图3. 并行测验体系架构
图4. 次序测验和并行测验的比较
易于运用
在履行并行测验工程时，测验工程师要面对几项潜在应战。 其间包含在全主动探测器环境中树立测验序列并履行测验。吉时利的主动特性剖析套件(ACS)软件(图5)经过供给以下内 容的直观用户界面应对这些应战： • 晶圆阐明 • 测验设置 • 探测器操控 • 主动化 • 汇总陈述 ACS完成了晶匣级和晶圆级主动化，所以能对悉数晶匣的晶 圆进行高吞吐量并行测验。ACS还包含实时分级装仓图和制作功用(图6)。
图5. ACS测验设置用户界面的并行测验特性使2600系列的编程就像点、 击和输入测验参数那样简略。
图6. ACS主动监控屏实时显现用色码表明的分级成果。
定论
面市时刻延伸和测验本钱压力增大意味着测验工程师必须用 更少的投入做更多的事。凭仗吉时利久经验证的仪器和丈量，ACS 集成测验体系填补了根据交互式实验室东西与高吞吐量出产测验 东西之间的空白。 图1所示的ACS集成测验体系特别适于管芯分选的多站点并行测验、高档可靠性和其它高吞吐量使用。2600系列仪器使用 嵌入式测验脚本处理完成的分布式测验排序功能具有高速并行测验才能。
