1）等离子化学气相堆积法
该法主要是选用H2稀释的硅烷气体的热分化，硅烷分化生成硅原子，
堆积在衬底资料上构成非晶硅薄膜。
太阳能电池的制备
硅片切开– 去除损害层–制绒－分散－刻蚀
－PECVD堆积减反射层 －丝网印刷上下电极
－烧结构成金属触摸－分类检测－包装
非晶硅的制备
本站为您提供的非晶硅的制备，1）等离子化学气相沉积法 该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解，硅烷分解生成硅原子，沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。
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